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J-GLOBAL ID：200903039994825983

凹凸測定用照明装置、凹凸測定装置、欠陥検査用照明装置、欠陥検査装置およびその照明方法

Inventor： 藤田 稔 ,  松延 広幸 ,  板垣 忠司
Applicant, Patent owner： 東芝エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 石戸 久子 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000126087
Publication number (International publication number)：2001304835
Application date： Apr. 26, 2000
Publication date： Oct. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 ピットやデンツのような三次元的欠陥を反射率の変動等に基づく二次元的な欠陥から区別できると共に確実に検出することができる欠陥検査用照明装置等を得る。【解決手段】 CCL2をラインセンサカメラ4で撮像し、その撮像信号に基づいて欠陥を検査するに際して、ラインセンサカメラ4により撮像される撮像面3を照明する欠陥検査用照明装置において、照明装置50を複数の光源51〜53で構成すると共に、各光源51〜53による照明配位が異なるように各光源51〜53を配置し、各光源51〜53による照明をラインセンサカメラ4の撮像タイミングに基づいて切り替えるようにした。

Claim (excerpt)：

対象物をセンサカメラで撮像し、その撮像信号に基づいて凹凸を測定するに際して、前記センサカメラにより撮像される撮像面を照明する凹凸測定用照明装置であって、前記凹凸測定用照明装置を複数の光源で構成すると共に、各光源による照明配位が異なるように前記各光源を配置し、前記各光源による照明を前記センサカメラの撮像タイミングに基づいて切り替えるようにしたことを特徴とする凹凸測定用照明装置。

IPC (2)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/956

FI (2)：

G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 B

F-Term (27)：

2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC00 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG06 ,  2F065GG07 ,  2F065GG08 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ25 ,  2F065PP16 ,  2F065PP22 ,  2F065UU01 ,  2G051AA61 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CD06 ,  2G051DA01 ,  2G051DA06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 欠陥検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-205766   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開昭62-042039
  
• 表面検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-375029   Applicant：日本エレクトロセンサリデバイス株式会社, 古河電気工業株式会社
• 特開昭62-042039