液送モジュール、液送装置およびその駆動方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003099164
Publication number (International publication number)：2004309163
Application date： Apr. 02, 2003
Publication date： Nov. 04, 2004
Summary：

【課題】液送の流量が大きく、特別なセンサを必要とせずに流量・流速の制御性が高い液送装置を得る。【解決手段】本発明の液送モジュール24は、圧電素子242と、圧電素子に固定され、かつ一方端が自由に振れる振動板241と、圧電素子への電圧供給線25とを備えたものである。また、他の液送モジュールは、金属板の両面にバイモルフ型の圧電板を設けた振動板と、振動板の一方端が固定され、かつ金属板および圧電板に電圧を供給する配線を設けた支持部材とからなるものである。本発明の液送装置は、上記の液送モジュールを基体の流路23に複数設け、液送モジュールの圧電素子に電圧を供給する電源と、電圧を制御する制御装置とにより構成したものである。また、液送モジュールを、互いに作用する方向が逆になるように配置してもよい。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

圧電素子と、前記圧電素子に固定され、かつ一方端が自由に振れる振動板と、前記圧電素子への電圧供給線とを備えたことを特徴とする液送モジュール。

IPC (5)：

G01N35/08 , A61M1/10 , F04B43/04 , G01N37/00 , H02N2/00

FI (5)：

G01N35/08 A , A61M1/10 500 , F04B43/04 B , G01N37/00 101 , H02N2/00

F-Term (14)：

2G058EA14 , 2G058FA08 , 2G058GB10 , 3H077AA01 , 3H077CC02 , 3H077CC09 , 3H077DD06 , 3H077EE15 , 3H077FF07 , 3H077FF09 , 3H077FF36 , 4C077AA04 , 4C077DD10 , 4C077EE01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭64-019184
特開昭62-091676
特開昭60-250259

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