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J-GLOBAL ID：200903040010028288

ポジ型感光性組成物

Inventor： 落合 為一 ,  亀山 泰弘
Applicant, Patent owner： 三菱化成株式会社
Agent (1)： 長谷川 一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992177238
Publication number (International publication number)：1994019130
Application date： Jul. 03, 1992
Publication date： Jan. 28, 1994
Summary：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂及び、感光剤として下記一般式(I)【化1】(但し、一般式(I)において、R1 ,R2 ,R3 は水素原子、1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニル基または1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニル基を表し(但し、R1 ,R2 ,R3 のうち少なくとも1つは水素原子ではない。)、R4 ,R5 ,R6 ,R7 は、水素原子、置換基を有していてもよいC4 以上のアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、または置換基を有していてもよいアラルキル基を表す(但し、R4 とR5 との少なくとも一方は水素原子ではなく、またR6 とR7 との少なくとも一方は水素原子ではない。)。)で表される化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性組成物。【効果】 本発明のポジ型感光性組成物は、可視又は近紫外領域の光を用いてのハーフミクロンリソグラフィーが可能である。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂及び感光剤として下記一般式(I)【化1】(但し、一般式(I)において、R1 ,R2 ,R3 は水素原子、1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニル基または1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニル基を表し(但し、R1 ,R2 ,R3 のうち少なくとも1つは水素原子ではない。)、R4 ,R5 ,R6 ,R7 は、水素原子、置換基を有していてもよいC4 以上のアルキル基、置換基を有していてもよいシクロアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、または置換基を有していてもよいアラルキル基を表す(但し、R4 とR5 との少なくとも一方は水素原子ではなく、またR6 とR7 との少なくとも一方は水素原子ではない。)。)で表される化合物を含むことを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (2)：

G03F 7/022 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-284454
  
• ポジ型フオトレジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-249329   Applicant：東レ株式会社