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J-GLOBAL ID：200903040071226473

MgO単結晶基板

Inventor： 池末 明生
Applicant, Patent owner： 黒崎窯業株式会社
Agent (1)： 小堀 益
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993098130
Publication number (International publication number)：1994305887
Application date： Apr. 23, 1993
Publication date： Nov. 01, 1994
Summary：

【要約】【目的】 強誘電体、超伝導体、人工格子体などの電子材料薄膜育成用として好適に使用可能なMgO単結晶基板を得る。【構成】 MgO単結晶基板において、亜粒界に囲まれた結晶粒の数が0〜5×105 個/cm2 の範囲で、かつ亜粒界を除いた結晶中の転位密度が1×103〜5×108 個/cm2 の範囲にあるMgO単結晶基板。

Claim (excerpt)：

MgO単結晶基板において、亜粒界に囲まれた結晶粒の数が0〜5×105 個/cm2 の範囲で、かつ亜粒界を除いた結晶中の転位密度が1×103 〜5×108 個/cm2 の範囲にあるMgO単結晶基板。

IPC (2)：

C30B 29/16 ,  H01L 23/15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-263794
  
• マグネシア単結晶の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-345510   Applicant：黒崎窯業株式会社, ジャパン・ゼネラル株式会社
• 特開平2-263794