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J-GLOBAL ID:200903040098311510

フイルムの欠陥検査装置及び欠陥検査方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 小林 和憲 ,  飯嶋 茂 ,  小林 英了
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006161280
Publication number (International publication number):2007327915
Application date: Jun. 09, 2006
Publication date: Dec. 20, 2007
Summary:
【課題】光学補償フイルム等の光学軸ズレに起因した僅かな光漏れ欠陥を検出する。【解決手段】 検査対象フイルム7を挟んで一対の第1,第2偏光板18,19が配される。各偏光板18,19は、クロスニコル配置とされる。光源部15は、第1偏光板18を介して検査対象フイルム7に光を照射し、受光器16は、検査対象フイルム7,第2偏光板19を透過した光を受光する。受光器16は、フイルム面に垂直な法線となすあおり角をθ1とし、検査対象フイルム7の遅相軸と直交するフイルム面上の基準線となす回転角をθ2としたときに、「15°≦θ1≦35°」、「20°≦θ2≦60°」の条件を満たす位置に配置される。【選択図】図1
Claim (excerpt):
検査対象フイルムを光学的に検出した光電信号に基づいてフイルムの欠陥を検査するフイルムの欠陥検査装置において、 検査対象フイルムの一方の面側に配置された第1の偏光板と検査対象フイルムの他方の面側に配置された第2の偏光板とからなり、各偏光板が前記フイルム面と平行とされるとともに、いずれか一方の偏光板が検査対象フイルムの遅相軸に対して略平行であり、各偏光板がクロスニコル配置とされた偏光ユニットと、 検査対象フイルムの一方の面側に配置され、前記第1の偏光板を介して検査対象フイルムに光を照射する光源と、 検査対象フイルムの他方の面側に配置され、検査対象フイルムから射出され前記第2の偏光板を透過した前記光源からの光を受光する受光手段とを備え、 前記受光手段は、その光軸がフイルム面の法線となすあおり角をθ1とし、フイルム面上における検査対象フイルムの遅相軸と直交する基準線とのなす回転角をθ2としたときに、「15°≦θ1≦35°」、「20°≦θ2≦60°」の条件を満たす位置に配されていることを特徴とするフイルムの欠陥検査装置。
IPC (1):
G01N 21/892
FI (1):
G01N21/892 A
F-Term (8):
2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051BA11 ,  2G051BB01 ,  2G051CA01 ,  2G051CB02 ,  2G051CC07 ,  2G051DA06
Patent cited by the Patent:
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