金属ないし金属化合物薄膜の作製方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡邉勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999341962
Publication number (International publication number)：2001158966
Application date： Dec. 01, 1999
Publication date： Jun. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】基板との間に十分な密着力を持った金属薄膜を、高価な大規模真空装置を用いることなく、安価かつ迅速に作製できるようにした金属薄膜の作製方法を提供する。【解決手段】少なくとも一部が金属からなる超微粒子を所定の溶媒に分散した超微粒子分散液を用意する工程と、前記超微粒子分散液を基板の表面に付着させる工程の二つの前処理工程と、前記超微粒子分散液を乾燥する工程と、前記乾燥後の超微粒子分散液を加熱処理することにより金属ないし金属化合物同士を結合させる工程と、前記結合後の金属をアニールする工程の三つの後処理工程のうち少なくとも二つの工程を有する。

Claim (excerpt)：

少なくとも一部が金属からなる超微粒子を所定の溶媒に分散した超微粒子分散液を用意する工程と、前記超微粒子分散液を基板の表面に付着させる工程の二つの前処理工程と、前記超微粒子分散液を乾燥する工程と、前記乾燥後の超微粒子分散液を加熱処理することにより金属ないし金属化合物同士を結合させる工程と、前記結合後の金属をアニールする工程の三つの後処理工程のうち少なくとも二つの工程を有することを特徴とする金属ないし金属化合物薄膜の作製方法。

IPC (2)：

C23C 18/02 , H01L 21/288

FI (2)：

C23C 18/02 , H01L 21/288 Z

F-Term (31)：

4K022AA41 , 4K022BA02 , 4K022BA08 , 4K022BA11 , 4K022BA13 , 4K022BA15 , 4K022BA18 , 4K022BA19 , 4K022BA20 , 4K022BA22 , 4K022BA23 , 4K022BA24 , 4K022BA25 , 4K022BA26 , 4K022BA27 , 4K022BA28 , 4K022BA31 , 4K022BA33 , 4K022DA06 , 4K022EA01 , 4M104BB01 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB13 , 4M104BB14 , 4M104BB17 , 4M104BB18 , 4M104DD51 , 4M104DD78 , 4M104DD86 , 4M104HH09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

メッキ用表面処理剤
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-131090 Applicant：三ツ星ベルト株式会社
酸化物の成膜方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-021850 Applicant：セイコーエプソン株式会社
導電膜形成用塗布液、導電膜とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-041121 Applicant：旭硝子株式会社

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