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J-GLOBAL ID：200903040249156857

静電チャック部材

Inventor： 原田 良夫 ,  竹内 純一 ,  山崎 良 ,  伊藤 陽一
Applicant, Patent owner： トーカロ株式会社 ,  株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 順三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996310892
Publication number (International publication number)：1998154596
Application date： Nov. 21, 1996
Publication date： Jun. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】固有抵抗値の温度依存性が小さく、広い温度範囲にわたって適用できる静電チャック部材を提供する。【解決手段】金属基板1上に、金属アンダーコート2、Al2O3 -NiOセラミックスオーバーコート3からなる絶縁膜を積層してなるもの、あるいはそのオーバーコートの上にさらに必要に応じて保護用セラミックストップコート4を積層した絶縁層を有する静電チャック用部材。

Claim (excerpt)：

金属もしくは炭素基板上に、金属アンダーコートと、その上に積層した Al2O3-NiOセラミックスオーバーコートとからなる絶縁膜を有することを特徴とする静電チャック部材。

IPC (3)：

H05F 7/00 ,  C23C 4/08 ,  C23C 28/00

FI (3)：

H05F 7/00 ,  C23C 4/08 ,  C23C 28/00 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 静電チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-258148   Applicant：京セラ株式会社