吸着盤及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996287976
Publication number (International publication number)：1998128634
Application date： Oct. 30, 1996
Publication date： May. 19, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】優れた平坦精度を有するとともに、大きな吸引力が得られるマルチタイプの吸着盤を提供する。【解決手段】被吸着物を吸着保持する吸着面が、複数個の多孔質セラミックスからなる吸着部材21,22,23と、これら吸着部材同士を接合するガラス融着壁24,25とからなり、該ガラス融着壁の幅を0.5〜2.0mmとして吸着盤を形成する。

Claim (excerpt)：

被吸着物を吸着保持する吸着面が、複数個の多孔質セラミックスからなる吸着部材と、これら吸着部材同士を接合するガラス融着壁とからなり、該ガラス融着壁の幅が0.5〜2.0mmであることを特徴とする吸着盤。

IPC (8)：

B23Q 3/08 , B25J 15/06 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , C04B 37/00 , C04B 38/00 303 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (8)：

B23Q 3/08 A , B25J 15/06 D , B65G 49/06 A , B65G 49/07 G , C04B 37/00 Z , C04B 38/00 303 Z , H01L 21/68 P , H01L 21/30 503 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平3-032538
特開平3-032538
真空チャックの吸着板、真空チャック及び吸着板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-179080 Applicant：シーケーディ株式会社

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