真空チャックの吸着板、真空チャック及び吸着板の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：恩田博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994179080
Publication number (International publication number)：1996039376
Application date： Jul. 29, 1994
Publication date： Feb. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】吸着面内の区分された領域を選択して使用することができる真空チャックの吸着板及び真空チャックを提供する。【構成】円板状の形成された吸着板6の吸着面6aと吸引面6b間には複数の円筒状の非通気層8a〜8cが吸着板6の軸線と同一軸線上に配置されている。この結果、吸着板6は互いに非通気層8a〜8cにより空気が両者間で流通しないように区切られた複数の吸着部7A〜7Dにて構成される。薄いフィルムを吸着する場合は、吸着板6の中央側の吸着部7Aから外周側の吸着部7B,7C,7Dへと順に段階的に吸着することにより、フィルムにしわを作ることなく吸着することができる。

Claim (excerpt)：

表裏両面に連通する多数の透孔を有する板材の一方の面を吸引面(6b)、他方の面を吸着面(6a)とし、吸引面(6b)から空気を吸引することにより、吸着面(6a)に被吸着物を吸着する真空チャックの吸着板において、前記板材を複数の吸着部(7A〜7D)に分割し、各吸着部間に互いに空気の流通を遮断する区分層(8a〜8c)を形成した真空チャックの吸着板。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平3-032538
特開昭55-160439
特開平3-032537

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