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J-GLOBAL ID:200903040605034729

感光性ペースト組成物及びそれを用いて焼成物パターンを形成したパネル

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): ▲吉▼田 繁喜
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999137318
Publication number (International publication number):2000330277
Application date: May. 18, 1999
Publication date: Nov. 30, 2000
Summary:
【要約】【課題】 光硬化性や解像度に優れ、高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペースト組成物及びそれを用いて所望の焼成物パターンを形成したプラズマディスプレイパネル(PDP)を提供する。【解決手段】 感光性ペースト組成物は、(A)無機微粒子、(B)光重合性化合物を含む有機成分、及び(C)光重合開始剤としてα-アミノアセトフェノン系化合物を含有する。このような感光性組成物を用いることにより、リフトオフ法やフォトリソグラフィー法により、PDPの隔壁パターン、誘電体パターン、電極パターンなどの所望の焼成物パターンを生産性良く形成できる。
Claim (excerpt):
(A)無機微粒子、(B)光重合性化合物を含む有機成分、及び(C)光重合開始剤として下記一般式(I)で表わされる化合物を含有することを特徴とする感光性ペースト組成物。【化1】(式中、Arは、次式【化2】で示される基、又はこれらの基がハロゲン原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数3〜12のアルケニル基、炭素原子数5〜6のシクロアルキル基、フェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、-COOH、-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-OR5、-SH、-SR6、-SOR6、-SO2R6、-CN、-SO2NH2、-SO2NHR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-SO2NR2(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-NR7R8及び-NHCOR7のうちの1〜5個によって、もしくは下記式(Ia)【化3】で示される基によって置換された基を表わし;Xは、直接結合、-O-、-S-又は-N(R9)-を表わし;Yは、水素原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、又はこれらのアルキル基が-OH、-OR9、-COOR9、-SH、-N(R9)2もしくはハロゲン原子のうちの1〜5個によって置換されているか、もしくは前記式(Ia)で示される基によって1〜5回置換された基を表わすか、又は1〜9個の-O-、-N(R9)-、-S-、-SS-、-X-C(=O)-、-X-C(=S)-、-C(=O)-X-、-X-C(=O)-X-、-X-C(=S)-X-、もしくは次式【化4】で示される基によって中断された炭素原子数2〜20のアルキル基、もしくは該中断された炭素原子数2〜20のアルキル基がさらに1〜5個の-SHによって置換されたアルキル基を表わすか、又は、ベンジル基もしくは-CH2SHによって1回又は2回置換されたベンジル基又はこれらのベンジル基がさらに炭素原子数1〜4のアルキル基によって置換された基を表わし;R1及びR2は、互いに独立して炭素原子数1〜8のアルキル基、又は-OH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、-SH、-CN、-COOR’(但し、R’は1〜8のアルキル基)、RCOO-(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、もしくは-NR3R4によって置換された炭素原子数1〜8のアルキル基を表わすか、又は互いに独立して炭素原子数3〜6のアルケニル基、フェニル基、クロロフェニル基、R5-O-フェニル基、R6-S-フェニル基もしくはフェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、又はこれらの炭素原子数3〜6のアルケニル基、フェニル基、クロロフェニル基、R5-O-フェニル基、R6-S-フェニル基もしくはフェニルアルキル基(アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)がさらに1〜5個の-SHによって置換された基を表わすか、又は、R1及びR2は一緒になって直鎖もしくは枝分れ鎖の炭素原子数2〜9のアルキレン基、炭素原子数3〜9のオキサアルキレン基もしくは炭素原子数3〜9のアザアルキレン基、又はこれらの炭素原子数2〜9のアルキレン基、炭素原子数3〜9のオキサアルキレン基もしくは炭素原子数3〜9のアザアルキレン基がさらに1〜5個の-SHによって置換された基を表わし;R3は、水素原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数2〜4のアルキル基であって-OH、-SH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、-CNもしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によって置換された基、炭素原子数3〜5のアルケニル基、炭素原子数5〜12のシクロアルキル基又はフェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)を表わし;R4は、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数2〜4のアルキル基であって-OH、-SH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、-CNもしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によって置換された基、炭素原子数3〜5のアルケニル基、炭素原子数5〜12のシクロアルキル基、フェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、未置換のフェニル基、又はフェニル基であってハロゲン原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基もしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によって置換された基を表わすか、又は、R4はR2と一緒になって炭素原子数1〜7のアルキレン基、フェニルアルキレン基(但し、アルキレン基は炭素原子数1〜4のアルキレン基)、o-キシリレン基、2-ブテニレン基、炭素原子数2〜3のオキサアルキレン基もしくは炭素原子数2〜3のアザアルキレン基を表わすか、又は、R4はR3と一緒になって炭素原子数3〜7のアルキレン基又は-O-、-S-、-CO-もしくは-N(R9)-によって中断された炭素数3〜7のアルキレン基、又はこれらの炭素原子数3〜7のアルキレン基が-OH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基もしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によって置換された基を表わし;R5は、水素原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数3〜12のアルケニル基、シクロヘキシル基、ヒドロキシシクロヘキシル基を表わすか、又は炭素原子数1〜4のアルキル基であってC1、Br、-CN、-SH、-NR2(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、ピペリジノ基、モルホリノ基、-OH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-OOCR10、-COOH、-COOR’(但し、R’は炭素原子数1〜8のアルキル基)、-CONHR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-CONR2(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、下記式(i)【化5】で示される基、-COR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)もしくは下記式(ii)【化6】で示される基によりモノ-又はポリ置換された基を表わすか、又は、2,3-エポキシプロピル基、-(CH2CH2O)nH(但し、nは2〜20の整数)、未置換のフェニル基、又はフェニル基であってハロゲン原子、炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基もしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によって置換された基を表わすか、又は、フェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、テトラヒドロピラニル基、テトラヒドロフラニル基、-COOR10、-COOR’(但し、R’は炭素原子数1〜8のアルキル基)、-CONHR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-CONR’2(但し、R’は炭素原子数1〜8のアルキル基)、-Si(R11)(R12)2又は-SO2R13を表わし;R6は、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数3〜12のアルケニル基、シクロヘキシル基、ヒドロキシシクロヘキシル基を表わすか、又は炭素原子数1〜4のアルキル基であってC1、Br、-CN、-SH、-NR2(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、ピペリジノ基、モルホリノ基、-OH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、-OOCR10、-COOH、-COOR’(但し、R’は炭素原子数1〜8のアルキル基)、-CONR2(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)、前記式(i)で示される基、-COR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)もしくは前記式(ii)で示される基によりモノ-又はポリ置換された基を表わすか、又は、2,3-エポキシプロピル基、フェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、フェニルヒドロキシアルキル基(但し、ヒドロキシアルキル基は炭素原子数1〜3のヒドロキシアルキル基)、未置換のフェニル基、又はフェニル基であってハロゲン原子、-SH、炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基もしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によってモノ-又はポリ置換された基を表わすか、又は、2-ベンゾチアジル基、2-ベンズイミダゾリル基、-CH2CH2-O-CH2CH2-SH又は-CH2CH2-S-CH2CH2-SHを表わし;R7及びR8は、互いに独立して水素原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数2〜4のアルキル基であって-OH、-SH、炭素原子数1〜4のアルコキシ基、-CNもしくは-COOR(但し、Rは炭素原子数1〜4のアルキル基)によって置換された基を表わすか、又は互いに独立して炭素原子数3〜5のアルケニル基、シクロヘキシル基、フェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、未置換のフェニル基、又はフェニル基であって炭素原子数1〜12のアルキル基もしくはハロゲン原子によってモノ-又はポリ置換された基を表わすか、又は、R7及びR8は一緒になって炭素原子数2〜7のアルキレン基又は-O-、-S-もしくは-N(R14)-によって中断さた炭素原子数2〜7のアルキレン基を表わし;R9は、水素原子、炭素原子数1〜12のアルキル基、又は-OH、-SHもしくはHS-(CH2)m-COO-(但し、mは1〜2の整数)で置換された炭素原子数1〜12のアルキル基、炭素原子数2〜12のアルキル基であって-O-、-NH-もしくは-S-によって中断された基、炭素原子数3〜5のアルケニル基、フェニルアルキル基(但し、アルキル基は炭素原子数1〜3のアルキル基)、-CH2CH2CN、未置換もしくはOH-もしくはSH-で置換された炭素原子数1〜4のアルキル-CO-CH2CH2-基、未置換もしくはOH-もしくはSH-で置換された炭素原子数2〜8のアルカノイル基、又はベンゾイル基を表わし;R10は、炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数2〜4のアルケニル基又はフェニル基を表わし;R11及びR12は、互いに独立して炭素原子数1〜4のアルキル基又はフェニル基を表わし;R13は、炭素原子数1〜18のアルキル基、フェニル基又は炭素原子数1〜14のアルキル基によって置換されたフェニル基を表わし;R14は、直鎖もしくは枝分れ鎖の炭素原子数2〜16のアルキレン基又は1〜6個の-O-もしくは-S-によって中断された直鎖もしくは枝分れ鎖の炭素原子数2〜16のアルキレン基、又はこれらのアルキレン基が1〜5個の-SH基によって置換された直鎖もしくは枝分れ鎖のアルキレン基を表わす。但し、前記した基Ar、R1、R2、R3、R4又はYのうち少なくとも一つは1〜5個の-SH基によって置換されているか、又はYは少なくとも一つの-SS-基を含む。)
IPC (7):
G03F 7/028 ,  C08F 2/50 ,  C09D 5/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02 ,  C09D201/00
FI (7):
G03F 7/028 ,  C08F 2/50 ,  C09D 5/00 C ,  G03F 7/004 501 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  C09D201/00
F-Term (82):
2H025AA02 ,  2H025AB13 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC31 ,  2H025BC51 ,  2H025BC81 ,  2H025BC82 ,  2H025BC85 ,  2H025BC92 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA30 ,  2H025CA31 ,  2H025CA32 ,  2H025CA34 ,  2H025CC08 ,  2H025CC12 ,  2H025CC20 ,  4J011QA03 ,  4J011QA06 ,  4J011QA07 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA34 ,  4J011QA37 ,  4J011QA45 ,  4J011RA12 ,  4J011SA01 ,  4J011SA05 ,  4J011SA06 ,  4J011SA15 ,  4J011SA17 ,  4J011SA21 ,  4J011SA25 ,  4J011TA03 ,  4J011TA06 ,  4J011TA09 ,  4J011WA01 ,  4J038FA071 ,  4J038FA091 ,  4J038FA151 ,  4J038FA161 ,  4J038FA241 ,  4J038FA251 ,  4J038FA271 ,  4J038GA06 ,  4J038HA066 ,  4J038HA166 ,  4J038HA486 ,  4J038JA33 ,  4J038JB01 ,  4J038KA03 ,  4J038KA08 ,  4J038MA14 ,  4J038NA18 ,  4J038PA17 ,  4J038PB08 ,  4J038PB09 ,  4J038PC02 ,  4J038PC08 ,  5C027AA01 ,  5C027AA05 ,  5C027AA09 ,  5C040GC18 ,  5C040GD07 ,  5C040GF18 ,  5C040GH07 ,  5C040KA01 ,  5C040KA04 ,  5C040KA09 ,  5C040KA16 ,  5C040KB03 ,  5C040KB17 ,  5C040KB19 ,  5C040MA23 ,  5C040MA24
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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Article cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • フォトポリマーハンドブック, 19890626, 初版, 487-489頁
  • フォトポリマーテクノロジー, 19881230, 初版, 第459-460頁、第465頁

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