感光性ペースト

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998177152
Publication number (International publication number)：1999072909
Application date： Jun. 24, 1998
Publication date： Mar. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、g線での吸光係数が0.01〜0.2cm2/mgであって、かつh線またはi線での吸光係数が0.1cm2/mg以上であるように、それぞれの波長で高い吸光係数を有する吸光剤、光重合開始剤、増感剤または水素引き抜き型重合開始剤を配合して吸光係数を前期のようにコントロールした感光性ペーストによって達成される。

Claim (excerpt)：

無機微粒子と感光性有機成分とを含み、g線での吸光係数が0.01〜0.2cm2/mgであって、かつh線またはi線での吸光係数が0.1cm2/mg以上であることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (5)：

G03F 7/004 505 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 506 , H01J 9/02 , H01J 11/02

FI (5)：

G03F 7/004 505 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 506 , H01J 9/02 F , H01J 11/02 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

感光性ペースト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-321794 Applicant：東レ株式会社
プラズマディスプレイパネル用隔壁の製造方法及び隔壁形成用組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-199691 Applicant：日本合成ゴム株式会社
カラーフィルタ用感光性着色組成物およびカラーフィルタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-151033 Applicant：東洋インキ製造株式会社, 凸版印刷株式会社

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