液体噴射ヘッド

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994201087
Publication number (International publication number)：1996058088
Application date： Aug. 25, 1994
Publication date： Mar. 05, 1996
Summary：

【要約】【目的】下電極と圧電膜との密着性を改善することにより、高信頼性かつ高歩留まりの液体噴射ヘッドを提供すること。【構成】下電極104と圧電膜105の間に、酸素を含有した、チタン層またはチタンを含有する合金層204を設けた液体噴射ヘッド。

Claim (excerpt)：

噴射すべき液体を保持するための液室が形成された基板、ノズル、液体流路、前記液室上に形成された振動板、前記振動板上に形成された下電極、圧電膜、及び上電極より成る圧電素子を具備し、前記液室、ノズル、液体流路、振動板、圧電素子が複数個配列されて成り、前記圧電素子を駆動し振動板をたわませ液室の体積を変化させることにより、液体流路を介して液室内に供給された液体をノズルより外部に噴射させる液体噴射ヘッドにおいて、前記下電極上部に、酸素を含有した、チタン層またはチタンを含有する合金層を設けたことを特徴とする液体噴射ヘッド。

IPC (3)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

圧電体、強誘電体薄膜素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-258399 Applicant：セイコーエプソン株式会社
チップ型電子部品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-207533 Applicant：株式会社村田製作所
特開昭63-219181

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