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J-GLOBAL ID：200903040646034296

基板をコーティングする装置のための蒸発器ボート

Inventor： ヴォルフガング アハトナー ,  ギュンター クレム
Applicant, Patent owner： バルツァース ウント ライボルト ドイチュラント ホールディング アクチエンゲゼルシャフト
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997043145
Publication number (International publication number)：1997235665
Application date： Feb. 27, 1997
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【解決手段】 真空コーティング室内で基板をコーティングする装置のための蒸発器ボートであって、導電性材料から成る扁平な縦長の槽状部分から成っており、この槽状部分が直接的な通電により加熱可能であり、このことのために、槽状部分の、直径方向で互いに対向して位置する両方の端部に、それぞれほぼ方形の鉛直に延びる接触面が設けられており、これらの接触面が槽状部分の保持のための互いに平行な締付け箇所と通電部とを形成している形式のものにおいて、槽状部分に、蒸発させるべき物質を受容するための単数又は複数の互いに並んで位置する部位が設けられており、さらに、槽状部分がそれぞれの部位の前後に切欠又は孔を備えている。【効果】 均一なコーテングが得られる。

Claim (excerpt)：

真空コーティング室内で基板をコーティングする装置のための蒸発器ボートであって、導電性材料から成る扁平な縦長の槽状部分(3,8)から成っており、この槽状部分が直接的な通電により加熱可能であり、このことのために、槽状部分(3,8)の、直径方向で互いに対向して位置する両方の端部に、それぞれほぼ方形の鉛直に延びる接触面(4,5,9,10)が設けられており、これらの接触面が槽状部分(3,8)の保持のための互いに平行な締付け箇所と通電部とを形成している形式のものにおいて、槽状部分(3,8)に、蒸発させるべき物質を受容するための単数又は複数の互いに並んで位置する部位(6,11,11′...)が設けられており、さらに、槽状部分(3,8)がそれぞれの部位(6,11,11′...)の前後に切欠(7,7′,...12,12′...)又は孔を備えていることを特徴とする基板をコーティングする装置のための蒸発器ボート。

IPC (2)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/26

FI (2)：

C23C 14/24 A ,  C23C 14/26 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 蒸着用ボート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-017858   Applicant：信越化学工業株式会社
• 導電性セラミックス及びその用途
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-116874   Applicant：電気化学工業株式会社
• 特開昭52-102681