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J-GLOBAL ID：200903040708887673

外部共振器型波長可変半導体レーザ光源

Inventor：
田村 俊将

About 田村 俊将


Applicant, Patent owner：
安藤電気株式会社

About 安藤電気株式会社


Agent (1)： 荒船 博司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996338523
Publication number (International publication number)：1998178240
Application date： Dec. 18, 1996
Publication date： Jun. 30, 1998
Summary：
【要約】【課題】 外部共振器型波長可変LD光源において、LD駆動電流変化による発振波長の変化と、光源部全体の温度変化による発振波長の変化及び機構的要因による設定波長と実際の発振波長のずれによる誤差を補正し、LD駆動電流や使用温度が変化しても波長再現性0.001[nm]を保証する。【解決手段】 LD部4、回折格子2、サインバー機構3,11、平行移動機構12、駆動部14及び位置検出手段13からなる波長可変LD光源部19全体の温度を検出する光源部全体温度検出手段25と、LD駆動電流の変化、波長可変LD光源部19全体の温度変化、駆動部14のエンコーダ出力値の変化に対する波長可変LD光源部19の発振波長の変化をそれぞれ記憶する記憶部26と、この記憶部26に記憶された発振波長の変化に基づいて波長可変LD光源部19の発振波長の変化を補正する発振波長変化補正手段15と、を備える。
Claim (excerpt)：
一方の端面に無反射膜が施された半導体レーザ、この半導体レーザの温度を測定する温度検出素子、前記半導体レーザの温度を変えるペルチェ素子を有する半導体レーザ部と、この半導体レーザ部の前記半導体レーザの前記無反射膜が施されていない側の端面とで共振器を形成する回折格子と、この回折格子が取り付けられ、当該回折格子への前記半導体レーザ出射光の入射角を変化させるサインバー機構と、前記半導体レーザ部を搭載して前記サインバーが接する平行移動機構と、この平行移動機構を微動させるモータ、このモータの回転を測定するエンコーダを有する駆動部と、前記平行移動機構の位置を検出する位置検出手段と、前記半導体レーザ部の温度を制御する温度調整回路と、前記半導体レーザを駆動する半導体レーザ駆動回路と、を備える外部共振器型波長可変半導体レーザ光源において、前記半導体レーザ部、回折格子、サインバー機構、平行移動機構、駆動部及び位置検出手段からなる波長可変半導体レーザ光源部全体の温度を検出する光源部全体温度検出手段と、前記半導体レーザ駆動回路による前記半導体レーザへの駆動電流の変化、前記光源部全体温度検出手段により検出された前記波長可変半導体レーザ光源部全体の温度変化、前記エンコーダにより測定されたエンコーダ出力値の変化に対する前記波長可変半導体レーザ光源部の発振波長の変化をそれぞれ記憶する記憶部と、この記憶部に記憶された前記発振波長の変化に基づいて前記波長可変半導体レーザ光源部の発振波長の変化を補正する発振波長変化補正手段と、を備えてなること、を特徴とする外部共振器型波長可変半導体レーザ光源。
IPC (2)：
H01S 3/18 ,  H01S 3/1055
FI (2)：
H01S 3/18 ,  H01S 3/1055
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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