半同軸共振器型測定治具及び誘電体薄膜の電気的物性値測定方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004312166
Publication number (International publication number)：2005198253
Application date： Oct. 27, 2004
Publication date： Jul. 21, 2005
Summary：

【課題】マイクロ波帯やミリ波帯において、誘電体薄膜の比誘電率、誘電正接などの誘電定数や、抵抗率といった電気的物性値を高精度で測定することが可能な半同軸共振器型測定治具及び誘電体薄膜の電気的物性値測定方法を提供する。【解決手段】円筒外部導体1と、前記円筒外部導体1の一端面を閉じるための、取り外し可能な導体薄膜7と、前記円筒外部導体1の他端面に接続された蓋と、前記蓋の内面に接続され、円筒の中心軸に沿って延びる中心内部導体3とを備え、前記中心内部導体3の先端は、導体薄膜7に設置された誘電体薄膜8に接触可能であり、前記中心内部導体3の先端が先細り形状である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

円筒外部導体と、前記円筒外部導体の一端面を閉じるための、取り外し可能な第1の導体と、前記円筒外部導体の他端面に接続された第2の導体と、前記第2の導体の内面に接続され、円筒の中心軸に沿って延びる中心内部導体とを備え、前記中心内部導体の先端は、前記円筒外部導体の一端面を構成する第1の導体に設置される誘電体薄膜に接触可能に構成され、前記中心内部導体の先端が先細形状であることを特徴とする半同軸共振器型測定治具。

IPC (3)：

H01P7/04 , G01N22/00 , G01R27/26

FI (4)：

H01P7/04 , G01N22/00 F , G01N22/00 Y , G01R27/26 H

F-Term (18)：

2G028AA01 , 2G028BB05 , 2G028BC02 , 2G028BF08 , 2G028CG02 , 2G028CG09 , 2G028CG13 , 2G028CG14 , 2G028DH14 , 2G028DH15 , 2G028EJ01 , 2G028FK01 , 2G028FK03 , 2G028FK07 , 5J006HA02 , 5J006HA14 , 5J006LA02 , 5J006NA02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

半同軸共振器および半同軸共振器ろ波器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-114278 Applicant：福島日本電気株式会社
非線形誘電率測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-209593 Applicant：株式会社村田製作所, 長康雄
共振器を用いて複素誘電率を測定する方法および前記方法を実施する装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-204144 Applicant：株式会社エー・イー・ティー・ジャパン

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