Pat

J-GLOBAL ID：200903040938261803

被加工物の保持装置

Inventor： 大河原 聡 ,  大宮 直樹
Applicant, Patent owner： 株式会社ディスコ
Agent (1)： 小野 尚純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001342849
Publication number (International publication number)：2003145377
Application date： Nov. 08, 2001
Publication date： May. 20, 2003
Summary：

【要約】【課題】 エアーの消費を節約でき、かつ、被加工物を吸引保持している状態で停電が発生しても、暫くの間は被加工物の吸引保持状態を維持できる被加工物の保持装置を提供する。【解決手段】 被加工物を吸引保持する保持機構と、該保持機構に負圧を作用せしめる負圧生成機構とからなる被加工物の保持装置であって、負圧生成機構は高圧エアータンクとエジェクタとを具備し、該エジェクタの吸引部が保持機構に接続されている。負圧生成機構は、高圧エアータンクとエジェクタとを接続する配管中に配設され選択的に作動される開路または閉路状態が維持される第1の制御弁と、第1の制御弁と減圧手段とを接続する配管中に配設された常開型の第2の制御弁と、該減圧手段と保持機構とを接続する配管中に配設された逆止弁と、逆止弁と保持機構とを接続する配管中の圧力を検出する圧力センサーと、圧力センサーによって検出された圧力が所定値以下の場合に常開型の第2の制御弁に作動信号を出力する制御手段とを具備する。

Claim (excerpt)：

被加工物を吸引保持する保持機構と、該保持機構に負圧を作用せしめる負圧生成機構とからなり、該負圧生成機構は、高圧エアータンクと、該高圧エアータンクから供給されるエアーの作用によって吸引力を生成せしめる吸引部を備えた減圧手段とを具備し、該減圧手段の吸引部が該保持機構に接続されている被加工物の保持装置において、該高圧エアータンクと該減圧手段とを接続する配管中に配設され選択的に作動される開路または閉路状態が維持される第1の制御弁と、該第1の制御弁と該減圧手段とを接続する配管中に配設された常開型の第2の制御弁と、該該減圧手段と該保持機構とを接続する配管中に配設され該減圧手段側から該保持機構側へのエアーの流れを規制する逆止弁と、該逆止弁と該保持機構とを接続する配管中の圧力を検出する圧力検出手段と、該圧力検出手段によって検出された圧力が所定値以下の場合に該常開型の第2の制御弁に作動信号を出力する制御手段と、を具備する、ことを特徴とする被加工物の保持装置。

IPC (5)：

B23Q 3/08 ,  H01L 21/301 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/68 ,  B24B 37/04

FI (6)：

B23Q 3/08 A ,  H01L 21/304 622 H ,  H01L 21/68 B ,  H01L 21/68 P ,  B24B 37/04 H ,  H01L 21/78 N

F-Term (25)：

3C016DA01 ,  3C058AA01 ,  3C058AB04 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA15 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA24 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031HA13 ,  5F031HA34 ,  5F031JA10 ,  5F031JA21 ,  5F031JA45 ,  5F031JA51 ,  5F031MA22 ,  5F031MA34 ,  5F031PA10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平3-227827
  
• 真空供給装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-208012   Applicant：エスエムシー株式会社