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J-GLOBAL ID：200903040943154870

レジスト除去用接着シ-ト類とレジスト除去方法

Inventor：
木原 康夫

About 木原 康夫

, 
橋本 浩一

About 橋本 浩一


Applicant, Patent owner：
日東電工株式会社

About 日東電工株式会社


Agent (1)： 祢▲ぎ▼元 邦夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996125645
Publication number (International publication number)：1997311469
Application date： May. 21, 1996
Publication date： Dec. 02, 1997
Summary：
【要約】【課題】 物品上の不要となつたレジスト膜画像を光硬化型の接着シ-ト類を用いて剥離除去するにあたり、上記接着シ-ト類の製造中や保存中などでの光硬化反応の進行を抑制して、物品上からレジスト膜画像を安定して確実に除去することを目的とする。【解決手段】 フイルム基材上に光硬化型接着剤層を設け、かつ上記の接着剤層面に450nm以下の波長の光の透過率が2%以下である遮光性セパレ-タを貼り合わせたレジスト除去用接着シ-ト類を使用し、これをレジスト膜画像が存在する物品上にその遮光性セパレ-タを剥がして、貼り付け、この接着シ-ト類を光硬化させたのち、この接着シ-ト類とレジスト材とを一体に剥離して、物品上のレジスト材を除去する。
Claim (excerpt)：
フイルム基材上に光硬化型接着剤層が設けられてなり、かつ上記の接着剤層面に450nm以下の波長の光の透過率が2%以下である遮光性セパレ-タが貼り合わされてなるレジスト除去用接着シ-ト類。
IPC (6)：
G03F 7/42 ,  C09J 7/02 JJU ,  C09J 7/02 JKF ,  C09J 7/02 JKS ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/027
FI (6)：
G03F 7/42 ,  C09J 7/02 JJU ,  C09J 7/02 JKF ,  C09J 7/02 JKS ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/30 572 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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