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J-GLOBAL ID：200903040946882310

圧電体薄膜素子、これを用いたインクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンタ、並びに、圧電体薄膜素子の製造方法

Inventor： 角 浩二 ,  邱 宏
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998011405
Publication number (International publication number)：1999214763
Application date： Jan. 23, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 圧電体薄膜における残留ひずみの影響を除くことができ、圧電ひずみ特性に優れた機構を提供する。【解決手段】 圧電体薄膜の結晶粒同士の境界である粒界に、圧電体薄膜素子を分極処理(ポーリング)した後においても、異物が存在しないか、又は異物の存在量が少ないこと。また、粒界の幅が5nm以下であること。また、結晶粒界が隣接する結晶粒の配向とは連続しない、不連続層であること。

Claim (excerpt)：

圧電体薄膜と、該圧電体膜を挟んで配置される上部電極と下部電極とを備えた圧電体薄膜素子において、前記圧電体薄膜を構成する結晶粒と結晶粒との間に、この結晶粒の配向とは連続しない結晶粒界が形成されており、この結晶粒界には前記結晶粒から析出した異物がほぼ存在しない圧電体薄膜素子。

IPC (5)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (4)：

H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z ,  B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 強誘電体薄膜及び強誘電体薄膜被覆基板並びに強誘電体薄膜の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-302133   Applicant：シャープ株式会社