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J-GLOBAL ID：200903041080572640
硬質炭素膜
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
川瀬 茂樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996262445
Publication number (International publication number)：1998087396
Application date： Sep. 10, 1996
Publication date： Apr. 07, 1998
Summary：
【要約】【課題】 硬度が高く、摩擦係数が低く、摺動特性に優れた硬質炭素膜を提供すること。【解決手段】 表面粗さがRmax500nm以下であって、100〜2000個の炭素原子を持つダイヤモンド構造クラスターと、100〜2000の炭素原子をもつグラファイト構造のクラスターが、0.3〜3の比で存在するような炭素膜。
Claim (excerpt)：
炭素、水素を主成分とし、表面粗さがRmax0.5μm以下であることを特徴とする硬質炭素膜。
IPC (2)：
FI (2)：
C30B 29/04 A
, C23C 16/26
