流体フローパターンパネル

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石戸元
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993151131
Publication number (International publication number)：1994338468
Application date： May. 28, 1993
Publication date： Dec. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】流量,圧力制御弁の流量計,圧力計のガス流量,圧力設定値等の情報もパネルのみで集中してモニタすることができる流体フローパターンパネルを提供する。【構成】パネルに、遠隔操作する流量,圧力制御弁の流量,圧力計のガス流量,圧力,設定値等を表示する表示器を取付け、表示器にガス流量,圧力を表示すると共に、流量,圧力計の流量,圧力コントローラに、パネルに設けた流量,圧力値及び設定値表示切換スイッチの表示切換信号を入力して設定値の表示も行なえるようにする。

Claim (excerpt)：

半導体製造装置で使用する流体ユニット等の流量,圧力制御弁を遠隔操作するための流体フローパターンパネルにおいて、該パネルに前記流量,圧力制御弁の流量,圧力計の流体流量,圧力等の情報をモニタできる表示器を取付けてなる流体フローパターンパネル。

IPC (2)：

H01L 21/205 , H01L 21/31

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開平2-125421
特開昭63-319291
特開昭63-126215

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