透明材料内部の処理方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：上島淳一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003015968
Publication number (International publication number)：2004223586
Application date： Jan. 24, 2003
Publication date： Aug. 12, 2004
Summary：

【課題】透明材料の内部に容積の大きな内部空間や、内部空間に可動部材を配置した可動構造を簡単な製造工程により短時間で製造する。【解決手段】フェムト秒レーザー光を集光された集光位置たる集光点のみに多光子吸収を生じさせて透明材料内部における集光点の改質や加工などの処理を行うことができるという現象を利用して、レジストレスプロセスならびにマスクレスプロセスを可能とし、製造工程の簡素化ならびに製造時間の短縮化を図るとともに、透明材料に対するフェムト秒レーザー光の照射方法を改善して、より一層の製造時間の短縮化を図る。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

透明材料内部の空間内に内部構造を形成する透明材料内部の処理方法において、透明材料に対してフェムト秒レーザー光の集光点を直交座標系のX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向に移動しながら照射する第1のステップと、前記第1のステップにおいてフェムト秒レーザー光を照射された前記透明材料を所定の溶液で溶液処理して、フェムト秒レーザー光を照射された領域をエッチングして除去する第2のステップとを有し、前記第1のステップにおいて前記透明材料にフェムト秒レーザー光を照射する際に、前記第2のステップにおいて前記透明材料から除去する領域のX-Y平面上における一つ以上の箇所において、フェムト秒レーザー光の集光点をZ軸方向に移動させながら照射する処理と、前記第2のステップにおいて前記透明材料から除去する領域をX-Y平面に沿ってZ軸方向に所定間隔を開けて層状に照射する処理とを行う透明材料内部の処理方法。

IPC (3)：

B23K26/00 , C03C15/00 , C03C23/00

FI (3)：

B23K26/00 G , C03C15/00 F , C03C23/00 D

F-Term (13)：

4E068AA04 , 4E068CA01 , 4E068CE04 , 4E068DB13 , 4G059AA08 , 4G059AA14 , 4G059AB01 , 4G059AB05 , 4G059AB07 , 4G059AB11 , 4G059AC30 , 4G059BB04 , 4G059BB14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

微小穴開きガラス及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-118965 Applicant：科学技術振興事業団, 近藤裕己

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