Pat

J-GLOBAL ID：200903041194542546

加速度センサ

Inventor： ホセ マリア サナルディ オカンポ ,  久保田 和芳 ,  パブロ バッカロ ,  斎藤 信雄
Applicant, Patent owner： 株式会社国際電気通信基礎技術研究所
Agent (2)： 鎌田 耕一 ,  黒田 茂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004314575
Publication number (International publication number)：2006126007
Application date： Oct. 28, 2004
Publication date： May. 18, 2006
Summary：

【課題】 小型で且つ任意の方向の加速度を検出することが可能な新規な加速度センサを提供する。 【解決手段】 基板101と、基板101上に形成された少なくとも1つのセンサ部102aとを備え、センサ部102aは、基板101上に基板101側から順に配置された第1および第2の層(半導体層123および124)を含む積層部103と、少なくとも第1および第2の層が折り曲げられることによって形成された起立部104aと、起立部104aの傾きを検出するための検出手段(ピエゾ抵抗素子132)とを含む。そして、第1の層の格子定数と第2の層の格子定数とは異なり、加速度を伴うセンサ部102aの移動によって起立部104aが傾く。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上に形成された少なくとも1つのセンサ部とを備える加速度センサであって、 前記センサ部は、前記基板上に前記基板側から順に配置された第1および第2の層を含む積層部と、少なくとも前記第1および第2の層が折り曲げられることによって形成された起立部と、前記起立部の傾きを検出するための検出手段とを含み、 前記第1の層の格子定数と前記第2の層の格子定数とは異なり、 加速度を伴う前記センサ部の移動によって前記起立部が傾く加速度センサ。

IPC (1)：

G01P 15/12

FI (1)：

G01P15/12 D

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 加速度センサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-355019   Applicant：日立金属株式会社
• 加速度センサとその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-366814   Applicant：沖電気工業株式会社