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J-GLOBAL ID：200903041266835152

露光装置及び露光方法

Inventor： 渡辺 照文 ,  伊藤 賢治
Applicant, Patent owner： 株式会社小野測器
Agent (1)： 鎌田 久男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996255681
Publication number (International publication number)：1998104748
Application date： Sep. 27, 1996
Publication date： Apr. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】 露光精度が高く、かつ、生産効率の高い露光装置を提供する。【解決手段】 感光性のある基板の位置情報を取得する位置情報取得手段(56)と、前記位置情報取得手段が取得した情報に基づいて、前記基板に対し、原版(40)の位置を整合する整合手段(75)と、前記整合手段により位置を整合された前記原版と前記基板とを密着させる密着手段(75)と、前記密着手段により前記原版と密着した前記基板を露光する露光手段(50)とを備える。

Claim (excerpt)：

感光性のある基板の位置情報を取得する位置情報取得手段と、前記位置情報取得手段が取得した情報に基づいて、前記基板に対し、原版の位置を整合する整合手段と、前記整合手段により位置を整合された前記原版と前記基板とを密着させる密着手段と、前記密着手段により前記原版と密着した前記基板を露光する露光手段とを備えることを特徴とする露光装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭62-145248
  
• 整合装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-283924   Applicant：株式会社小野測器
• 特開昭62-145248
  
• 特開平2-091655