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J-GLOBAL ID：200903041357909604

赤外線センサ

Inventor： 工藤 剛 ,  森 武寿 ,  木村 光照
Applicant, Patent owner： テルモ株式会社 ,  木村 光照
Agent (1)： 八田 幹雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994006003
Publication number (International publication number)：1995209089
Application date： Jan. 24, 1994
Publication date： Aug. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 サーミスタ定数の大きな赤外線検知手段を用いることによって、微弱な赤外線をも高精度で測定できる高感度な赤外線センサを提供する。【構成】 本発明による赤外線センサは、空洞部を有し、この空洞部上に形成された絶縁性の薄膜上に半導体材料と金属材料とのショットキー接合による感温部が設けられたセンサ基板と、このセンサ基板の前記空洞部を覆い、前記感温部の周囲を真空に保持する真空封止手段とを備えている。

Claim (excerpt)：

センサ基板に設けられた空洞部上に形成された絶縁性の薄膜部に感温部が設けられ、該感温部は多結晶またはアモルファス状の半導体材料と金属材料のショットキー接合を用いたものであることを特徴とする赤外線センサ。

IPC (2)：

G01J 5/02 ,  G01J 1/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• シヨツトキー接合温度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-284266   Applicant：木村光照
• 熱型赤外線センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-343964   Applicant：株式会社村田製作所
• 特開昭58-202578
  
• 特開昭63-204667