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J-GLOBAL ID:200903041373373617
コンテナ内管理装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
梶 良之
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994201346
Publication number (International publication number):1996048337
Application date: Aug. 02, 1994
Publication date: Feb. 20, 1996
Summary:
【要約】【目的】 金属製のコンテナ25であっても、コンテナ25の内部と外部とのデータ通信を電磁波f1 〜f3 により容易に行えるようにする。【構成】 少なくとも内側が金属からなるコンテナ25内に収容されるウエーハ22やウエーハカセット21等の管理対象物に取り付けられ、この管理対象物のIDデータや工程データを記憶可能なIDタグ2と、コンテナ25外に設けられ、コンテナ25内に収容された管理対象物のIDタグ2に対して電磁波f1 〜f3 を用いてデータ通信する読取/書込装置1と、コンテナ25の隔壁に設けられ、IDタグ2と読取/書込装置1とで送受信される電磁波f1 〜f3 を中継する第1コイル27等の中継手段33とを有している。
Claim (excerpt):
少なくとも内側が金属からなるコンテナ内に収容される管理対象物に取り付けられ、該管理対象物のデータを記憶可能なデータ記憶手段と、上記コンテナ外に設けられ、該コンテナ内に収容された管理対象物のデータ記憶手段に対して電磁波を用いてデータ通信するデータ管理手段と、上記コンテナの隔壁に設けられ、上記データ記憶手段と上記データ管理手段とで送受信される電磁波を中継する中継手段とを有していることを特徴とするコンテナ内管理装置。
IPC (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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半導体製造システムにおけるID認識装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-071378
Applicant:神鋼電機株式会社
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特開昭62-175899
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