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J-GLOBAL ID：200903041420402701

アルミニウム合金およびそれを用いたプラズマ処理装置

Inventor： 蓮尾 俊治 ,  権田 峰夫 ,  服部 圭
Applicant, Patent owner： 九州三井アルミニウム工業株式会社 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996245306
Publication number (International publication number)：1998088271
Application date： Sep. 17, 1996
Publication date： Apr. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】本発明は、プラズマ処理装置の形成に用いられるアルミニウム合金において、5000系合金や6000系合金よりも不純物元素が少なくて、しかも、5000系合金や6000系合金とほぼ同程度の強度を確保できるようにすることを最も主要な特徴とする。【解決手段】たとえば、通常の溶解法により4N以上のAlに、0.39wt%のSiと1.47wt%のMgとを添加して溶湯を調製する。そして、その溶湯を半連続鋳造法などにより鋳造して122mmφのビレットを得た後、均熱処理を施して、SiおよびMgを除く、その他の各成分の濃度の総和が0.1wt%以下の組成を有するアルミニウム合金を得る。この合金を、プラズマ電極板またはプラズマチャンバ用の素材として用いる場合、鍛造後、溶体化処理、水冷処理、時効処理を行うことで、十分な強度を得ることが可能となっている。

Claim (excerpt)：

高純度のアルミニウムに、0.2〜1.0wt%のシリコンと0.35〜2.5wt%のマグネシウムとを含み、これらシリコンおよびマグネシウムを除く、その他の不純物元素の総和が0.1wt%以下の組成を有してなることを特徴とするアルミニウム合金。

IPC (4)：

C22C 21/06 ,  C22C 21/00 ,  C25D 11/04 308 ,  H01L 21/205

FI (4)：

C22C 21/06 ,  C22C 21/00 C ,  C25D 11/04 308 ,  H01L 21/205

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-136653
  
• AlまたはAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-282314   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• 特開平4-099282