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J-GLOBAL ID:200903041451451506

被膜、表面、及び界面を検査するシステム及び方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 特許業務法人快友国際特許事務所
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2007541150
Publication number (International publication number):2008519980
Application date: Nov. 12, 2004
Publication date: Jun. 12, 2008
Summary:
塗料被膜内の欠陥を検出するシステムは、表面及びその表面に塗布された被膜の温度を変更するよう構成された温度調節装置を含む。このシステムは、さらに、被膜内の異常を判断するよう、表面及び被膜の温度変化(時間の経過に伴う)を測定するための赤外線センサと、表面及び被膜の測定された温度変化と予想される温度変化(時間の経過に伴う)とを比較するためのプロセッサとを含むことがある。欠陥を判断する自己参照方法も開示されており、これによれば、周囲のピクセルが、それぞれのピクセルの温度変化を計算するための検出プロセスにおける基準として利用される。その上、接着界面を検査するための本発明による態様の適用形態も開示されている。【選択図】図1
Claim (excerpt):
被膜内の欠陥を検出するシステムであって、 a)製造部品の表面の温度を変更するよう構成されている温度調節装置と、 b)時間の経過に伴う前記表面の温度を測定するよう構成された赤外線センサであって、第1に前記表面の第1の温度プロファイルを、第2に前記表面の第2の温度プロファイルを提供するよう構成され、前記プロファイルのそれぞれが、前記表面の複数の個々の特定された領域について複数の温度データを含む、赤外線センサと、 c)前記第1及び第2の温度プロファイルを受信し、前記プロファイルのそれぞれとシグネチュア温度プロファイルとを比較し、それぞれの特定された領域の温度と周囲の特定された領域の温度とを比較することにより、それぞれのプロファイルのそれぞれの特定された領域について、時間の経過に伴う温度変化を表すパラメータを計算するよう構成されたプロセッサであって、さらに、それぞれの特定された領域についての前記温度変化パラメータのそれぞれと閾値レベルとを比較することにより、前記表面の表面下の不具合を識別するよう構成されているプロセッサと、を含むシステム。
IPC (3):
G01N 25/72 ,  G01B 11/06 ,  G01B 11/30
FI (3):
G01N25/72 K ,  G01B11/06 Z ,  G01B11/30 Z
F-Term (19):
2F065AA30 ,  2F065AA49 ,  2F065AA60 ,  2F065CC11 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP25 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2G040AA07 ,  2G040AB09 ,  2G040BA26 ,  2G040CA02 ,  2G040CA23 ,  2G040DA06
Patent cited by the Patent:
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