Pat

J-GLOBAL ID：200903041778846555

パターン形成方法および感光性樹脂組成物

Inventor： 花畑 誠 ,  楊 武 ,  大澤 美香 ,  紀氏 隆明 ,  安田 徳元
Applicant, Patent owner： 株式会社関西新技術研究所
Agent (1)： 鍬田 充生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998165285
Publication number (International publication number)：2000029227
Application date： Jun. 12, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 感光性樹脂の種類に拘らず、水性現像液(特に水)で現像し、解像度に優れるパターンを形成する。【解決手段】 露光により感光層の表面を所定のパターンに難溶化処理して、難溶化又は耐水化パターンを形成し、前記感光層に対して水性現像剤を感光層に対して垂直方向に高圧(75〜500kgf/cm2 程度)で噴出させて現像し、解像度が高く高アスペクト比のパターンを形成する。感光層は、ネガ型感光性ポリマーと微粒子(無機微粒子など)との単一層であってもよく、感光性ポリマーで構成された感光性表面層と、噴出する水性現像剤によりエッチング可能であり、かつ非感光性の成膜性有機成分と微粒子とを含む下層とで構成された複合層であってもよい。微粒子の平均粒子径は1nm〜10μm程度である。高圧で現像した後、焼成すると、無機パターンを形成できる。前記感光層は、密着層を介して基板に形成してもよい。

Claim (excerpt)：

露光により感光層の表面を所定のパターンに難溶化処理し、前記感光層に対して水性現像剤を高圧で噴出させて現像するパターン形成方法。

IPC (4)：

G03F 7/30 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039

FI (4)：

G03F 7/30 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/039

F-Term (21)：

2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AB00 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025CC08 ,  2H025DA35 ,  2H025FA17 ,  2H025FA39 ,  2H096AA00 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096BA09 ,  2H096BA20 ,  2H096CA05 ,  2H096GA08 ,  2H096HA30 ,  2H096JA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開平4-285962
  
• 特開平4-120546
  
• カラーフィルタの残査除去方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-044430   Applicant：大日本印刷株式会社
• 湿し水不要感光性平版印刷版
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-000935   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• 水なし平版印刷版原版
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-249671   Applicant：東レ株式会社
• 湿し水不要感光性平版印刷版
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-084670   Applicant：コニカ株式会社, 三菱化成株式会社