セラミックグリーンシートの加工方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：吉田精孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993332082
Publication number (International publication number)：1995193374
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Jul. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】脆弱なセラミックグリーンシートに高精度でスルーホール等を形成できる加工方法を提供すること。【構成】レーザ光源1と、所定の透光部を有するマスク3と、セラミックグリーンシートGSを支持するテーブル5とを配置し、レーザ光源1からマスク3に向けて透光部よりも大径のレーザ光Rを照射して該透光部を通過した光をシートGSに所定形状で照射させ、テーブル5によってシートGSを所定方向に移動させながら上記のレーザ光照射を繰り返してスルーホール等をシートGSに形成しているので、加工時に従来のような機械的振動及び衝撃がシートGSに加わることがなく、また接触を原因とした位置ずれや変形を該シートGSに生じることがない。

Claim (excerpt)：

積層型電子部品用のセラミックグリーンシートに所定数のスルーホールを形成する加工方法であって、レーザ光源と、所定の透光部を有するマスクと、セラミックグリーンシートを支持するテーブルとを配置し、レーザ光源からマスクに向けて透光部よりも大径のレーザ光を照射して該透光部を通過した光をセラミックグリーンシートに所定形状で照射させ、テーブルによってセラミックグリーンシートを所定方向に移動させながら上記のレーザ光照射を繰り返す、ことを特徴とするセラミックグリーンシートの加工方法。

IPC (7)：

H05K 3/46 , B23K 26/00 330 , B23K 26/06 , B23K 26/10 , B23K 26/16 , H01F 17/00 , H05K 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭61-074792
パルスレーザ加工機
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-074181 Applicant：日立建機株式会社
光処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-109403 Applicant：三菱電機株式会社

Show all

Return to Previous Page