Pat

J-GLOBAL ID：200903041851593229

位置だし制御法および面合わせ方法およびそれを用いたトンネル顕微鏡および記録再生装置

Inventor： 山本 敬介 ,  小口 高弘 ,  酒井 邦裕 ,  黒田 亮 ,  鈴木 義勇 ,  中山 優
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992346303
Publication number (International publication number)：1994194157
Application date： Dec. 25, 1992
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 STMあるいは、AFMに用いるカンチレバー型圧電素子を用いて、容易にサンプル表面とカンチレバー型圧電素子との距離を計測する。【構成】 カンチレバーの長手方向に直交する面での変位を変化させるためのすくなくとも1層の圧電体層と、該圧電層に電圧を印加するための電極とを具備するカンチレバー型圧電素子を用いた位置だし制御方法であって、カンチレバーをその固有振動数で変位させ、圧電素子のアドミッタンス変化により、サンプル表面との距離を計測する。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの長手方向に直交する面での変位を変化させるためのすくなくとも1層の圧電体層と、該圧電層に電圧を印加するための電極とを具備するカンチレバー型圧電素子を用いた位置だし制御方法であって、カンチレバーをその固有振動数で変位させ、圧電素子のアドミッタンス変化により、サンプル表面との距離を計測することを特徴とする位置だし制御方法。

IPC (4)：

G01B 21/30 ,  G05D 3/00 ,  G11B 9/00 ,  H01L 41/09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 圧電薄膜式非接触走査型力顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-120913   Applicant：須賀唯知