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J-GLOBAL ID：200903041999324227

ステージ装置

Inventor： 沢井 宏之 ,  石井 洋
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 小森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000042676
Publication number (International publication number)：2001238485
Application date： Feb. 21, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】位置決め対象物やステージの重心位置が変位することに起因するヨーイング方向の偏向を防止し、位置決め対象物を目標位置に正確に移動させる。【解決手段】ウエハステージ4がY方向の移動範囲の中央に位置していない状態では、一対のリニアモータ5a,5bからY方向ステージ3に供給する推力Fa,Fbに差異を与え、推力Fa,FbによるY方向ステージ3の重心周りのモーメントMa,Mbが互いに打ち消し合う大きさになるようにしてY方向ステージ3をX方向に移動させる。推力Fa,Fbによって生じる重心周りのモーメントMa,Mbは互いに打ち消し合い、推力Fa,FbがY方向ステージ3の回転力として作用することがなく、Y方向ステージ3はヨーイング方向に偏向することがない。

Claim (excerpt)：

ステージの移動方向に平行な一対のリニアモータが発生する推力によってステージを支持体上に移動させるステージ装置において、一対のリニアモータのそれぞれから供給される推力によってステージに作用する重心周りのモーメントが釣り合う状態でステージを移動させる制御部を設けたことを特徴とするステージ装置。

IPC (5)：

H02P 7/00 101 ,  B23Q 1/56 ,  B23Q 5/28 ,  G05D 3/12 ,  H01L 21/027

FI (5)：

H02P 7/00 101 B ,  B23Q 5/28 B ,  G05D 3/12 S ,  H01L 21/30 503 A ,  B23Q 1/14 B

F-Term (31)：

3C048BC02 ,  3C048DD06 ,  3C048DD26 ,  3C048EE06 ,  3C048EE10 ,  5F046AA23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046CC17 ,  5F046DA07 ,  5F046DB05 ,  5F046DC10 ,  5H303AA06 ,  5H303BB02 ,  5H303BB07 ,  5H303BB12 ,  5H303CC03 ,  5H303CC08 ,  5H303DD04 ,  5H303EE03 ,  5H303GG13 ,  5H303JJ05 ,  5H303KK02 ,  5H303LL03 ,  5H540AA01 ,  5H540AA06 ,  5H540AA10 ,  5H540BB07 ,  5H540EE02 ,  5H540FA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• ステージ駆動制御装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-198183   Applicant：株式会社ニコン
• 特許第2887033号