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J-GLOBAL ID：200903042113376961

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 大田 芳久 ,  夏井 亨 ,  槙田 穰 ,  山近 幹雄
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995039420
Publication number (International publication number)：1996211598
Application date： Feb. 06, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】 特にPEDに対するプロセス安定性に優れるとともに、感度、解像度、パターン形状、残膜率等にも優れるポジ型またはネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。【構成】 ポジ型感放射線性樹脂組成物は、(A)チオスルフォネート構造を有する有機化合物および(B)(イ)酸解離性基含有樹脂または(ロ)アルカリ可溶性樹脂とアルカリ溶解性制御剤を含有し、ネガ型感放射線性樹脂組成物は、前記成分(A)、(C)アルカリ可溶性樹脂および(D)酸の存在下でアルカリ可溶性樹脂を架橋しうる化合物を含有する。

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)または式(2)で表されるチオスルフォネート化合物、【化1】【化2】〔式(1)および式(2)において、XおよびYは相互に同一でも異なってもよく、置換されていてもよい1価の非環式炭化水素基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基またはヘテロ原子を有する1価の他の有機基を示し、式(2)において、Zは -(CH2)n- (ここで、nは0〜6の整数)、-(CH2)m-C(=O)-(CH2)m- (ここで、mは0〜2の整数)および-(CH2)m-C(=N2)-(CH2)m- (ここで、mは0〜2の整数)の群から選ばれる少なくとも1種の2価の基を示す。〕、並びに(B)(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、または(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027