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J-GLOBAL ID：200903042177079944

アルカリ性水溶液及び感光性樹脂組成物のパターン形成方法

Inventor： 平野 孝 ,  番場 敏夫
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996335785
Publication number (International publication number)：1998171126
Application date： Dec. 16, 1996
Publication date： Jun. 26, 1998
Summary：

【要約】【課題】 感度、膜減り率に優れるのみならず、パターン加工工程におけるスカムをなくし、高解像度が得られる感光性樹脂組成物のパターン形成方法を提供する。【解決手段】 特定の構造のポリアミド、ジアゾキノン化合物からなるポジ型感光性樹脂組成物を基板等に塗布し、プリベークを行い、光照射を行った後、アニオン性界面活性剤を含むアルカリ性水溶液で露光部を溶解除去して、パターンを得る感光性樹脂組成物のパターン形成方法。

Claim (excerpt)：

アニオン性界面活性剤並びにカルシウム、ストロンチウム及びバリウムの化合物から選ばれる1種以上の化合物を含むアルカリ性水溶液。

IPC (3)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/075 511

FI (3)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/075 511

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 感光性平版印刷版用現像液または現像補充液の調液方法および希釈方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-025771   Applicant：コニカ株式会社, 三菱化学株式会社
• 特開昭62-131263
  
• ポジ型感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-253147   Applicant：住友ベークライト株式会社