液晶表示装置及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井上一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993329870
Publication number (International publication number)：1995154007
Application date： Nov. 30, 1993
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：

【要約】【目的】配線抵抗の少ない配線電極を有すると共に、非線形抵抗素子部における微細加工が可能であり信頼性の高い液晶表示装置を実現すること。【構成】配線電極2は、比抵抗の低い第1の金属層20(Al)、及びこの第1の金属層20(Al)を覆うようにして形成された比抵抗が高く陽極酸化可能な第2の金属層22(TaW)より構成される。そして、この配線電極2には、液晶駆動電極6(ITO)と同一材料の導電層24(ITO)が形成されている。一方、MIM素子部6の下部電極10は第2の前記金属層22(TaW)を延設して形成されており、このMIM素子部6にはAl膜は形成されていない。従って、配線抵抗を非常に低減できるとともに、MIM素子の微細加工が可能となり、また、上部電極14のカバレイジ特性を向上させることができる。

Claim (excerpt)：

複数の配線電極と、これらの配線電極に接続された非線形抵抗素子部と、液晶素子を駆動する液晶駆動電極とを含んで構成される液晶表示装置において、前記配線電極が、比抵抗の低い第1の金属層と、この第1の金属層を覆うようにして設けられ前記第1の金属層より比抵抗が高く陽極酸化可能な第2の金属層とを含んで構成され、前記非線形抵抗素子部の下部電極が前記第2の金属層から延設されて形成されたことを特徴とする液晶表示装置。

IPC (2)：

H01L 49/02 , G02F 1/136 510

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平4-067021
特開平3-280021
特開平4-340930

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