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J-GLOBAL ID：200903042201972515
加工用プローブ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松下 義治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004072658
Publication number (International publication number)：2005258285
Application date： Mar. 15, 2004
Publication date： Sep. 22, 2005
Summary：
【課題】 フォトマスクの黒欠陥(凸状欠陥)をプローブ顕微鏡技術を用いて修正する際、プローブとマスクガラス基板間の摩擦による静電気の帯電を起因とするマスクパターン間の放電を防止することにより、パターンを破損させることなくマスクパターンを修正させることが可能な加工用プローブを提供すること。【解決手段】 欠陥部を機械的に削りとるのに用いられるプローブに導電性をもたせるようにする。これにより、加工時の摩擦による静電気をプローブ、カンチレバー、カンチレバー保持部材から装置筐体へと逃がすことで、マスクガラス基板の静電気帯電を防ぎ、マスクパターン間の放電を起こさせること無く、パターンを破損させることなくマスクパターンを修正できる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
プローブ顕微鏡技術を用いて、プローブにより切削等の機械的作用により、フォトマスク欠陥部を修正する装置において、欠陥部を引っかくプローブ部が導電性を有していることを特徴とする加工用プローブ。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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