排水処理装置およびそれを用いた排水処理方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡田敬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003086382
Publication number (International publication number)：2004290814
Application date： Mar. 26, 2003
Publication date： Oct. 21, 2004
Summary：

【課題】CMP排水に含まれるゾル状の微粒子凝集させてを除去する。【解決手段】電極12の電気化学的作用により、排水に含まれるシリカと鉄との凝集物である鉄シリカを生成する。そして、ゲル膜より成る第2のフィルタを有するフィルタ装置13にて、凝集された被除去物の除去を行う。電極12の作用にて生成される鉄シリカの高分子化合物は、それ自身が凝集剤として機能する。従って、排水に含まれる他の被除去物も凝集されるので、フィルタ装置13を用いた濾過処理が容易になる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

流体に含まれる被除去物と結合する凝集性のイオンが溶出される金属を含む電極と、凝集された流体中の被除去物を濾過するフィルタ装置とを具備することを特徴とする排水処理装置。

IPC (4)：

C02F1/463 , B01D37/02 , C02F1/44 , C02F1/465

FI (3)：

C02F1/46 102 , B01D37/02 G , C02F1/44 E

F-Term (37)：

4D006GA02 , 4D006GA14 , 4D006HA12 , 4D006JA30A , 4D006KA02 , 4D006KA03 , 4D006KA32 , 4D006KB13 , 4D006KC03 , 4D006KC13 , 4D006KD08 , 4D006MA03 , 4D006MA21 , 4D006MA31 , 4D006MC03 , 4D006MC22 , 4D006PB08 , 4D006PB23 , 4D006PB27 , 4D006PC01 , 4D061DA08 , 4D061DB16 , 4D061DC13 , 4D061DC14 , 4D061DC19 , 4D061DC20 , 4D061EA06 , 4D061EB04 , 4D061EB28 , 4D061EB30 , 4D061ED13 , 4D061FA09 , 4D066BB13 , 4D066CA01 , 4D066CA13 , 4D066CB01 , 4D066CB13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

水の清浄化方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-376285 Applicant：長倉正昭, はい島比呂志
水溶液中のシリカ除去法および有価元素回収法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-337314 Applicant：三菱マテリアル株式会社
汚水処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-262067 Applicant：三洋電機株式会社

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