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J-GLOBAL ID：200903042668145612

回折光学素子

Inventor： 新毛 勝秀 ,  仲間 健一 ,  関口 幸成 ,  引地 奈緒子
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社
Agent (1)： 茂見 穰
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002117437
Publication number (International publication number)：2003315518
Application date： Apr. 19, 2002
Publication date： Nov. 06, 2003
Summary：

【要約】【課題】 素子本体の溝構造を補正して、必要な格子形状が得られ、必要な光学性能を発現できるようにする。【解決手段】 多数の溝が形成されて格子を構成している素子本体30と、その格子面に斜め方向から材料粒子を入射させて付着堆積させた格子整形層32を具備し、格子整形層自体が反射膜材料からなる回折光学素子である。格子整形層によって、格子面の溝長手方向に垂直な断面での輪郭形状と素子本体の断面形状とが非相似形の関係となる。他の材料からなる格子整形層38の上に反射膜40を形成してもよい。素子本体上に反射膜を設け、その上に透明誘電体からなる格子整形層を設けてもよい。

Claim (excerpt)：

表面に多数の溝が等間隔で形成されて格子を構成している素子本体と、該素子本体の格子面に斜め方向から材料粒子を入射させて付着堆積させた格子整形層を具備し、格子整形層自体が反射膜材料からなり、格子面の溝長手方向に垂直な断面での輪郭形状と素子本体の断面形状とが非相似形の関係にあることを特徴とする回折光学素子。

F-Term (10)：

2H049AA03 ,  2H049AA07 ,  2H049AA31 ,  2H049AA33 ,  2H049AA37 ,  2H049AA44 ,  2H049AA51 ,  2H049AA59 ,  2H049AA63 ,  2H049AA64

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭56-088103
  
• 反射型回折格子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-286546   Applicant：日本板硝子株式会社
• 凹凸表面を有する物品の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-023698   Applicant：日本板硝子株式会社
• 特開昭60-230102