反射型回折格子

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大野精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000286546
Publication number (International publication number)：2002098820
Application date： Sep. 21, 2000
Publication date： Apr. 05, 2002
Summary：

【要約】【課題】従来の反射回折光学素子は、回折効率が偏光に依存するため、偏光を補償するための光学素子を光学系に挿入する必要があり、その挿入損失により分光感度が低下するという問題点があった。【解決手段】本発明の反射型回折格子は、その表面に第1層として入射光波長において30%以上の反射率をもつ金属膜と、第2層として透明な誘電体膜とを順次積層した構造を有する。入射光波長における前記金属膜の屈折率を1.5以下、消衰係数が6.0以上とする。かつ入射光波長における前記誘電体膜の屈折率が1.30以上1.46以下、また入射光波長をλとするとき光学膜厚が0.20λ以上0.38λ以下とする。

Claim (excerpt)：

溝周期が入射光波長の0.1〜10倍である回折格子において、その表面側から順に、少なくとも第1層として反射率が30%以上である金属膜と、第2層として透明な誘電体膜とを積層した反射型回折格子。

F-Term (8)：

2H049AA07 , 2H049AA25 , 2H049AA40 , 2H049AA43 , 2H049AA53 , 2H049AA59 , 2H049AA63 , 2H049AA64

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-211202
光デバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-044837 Applicant：松下電器産業株式会社
特開平4-204401

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