粒径分布測定装置並びにこの装置に用いるアレイ検出器およびその製作方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：藤本英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999327465
Publication number (International publication number)：2000214068
Application date： Nov. 17, 1999
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】アレイ検出器部分の構成をコンパクトにした粒径分布測定装置を提供すること。【解決手段】レーザ光源5からのレーザ光4を分散した粒子群に照射したときに生ずる散乱光の強度を各散乱角ごとに検出する複数の散乱光検出素子を有するアレイ検出器21を備え、各散乱光検出素子からの散乱光強度信号に基づいて前記粒子群における粒径分布を測定するようにした装置において、前記アレイ検出器21として、一つの検出平面に光軸を中心にして一つの半径方向に設けられる複数の散乱光検出素子24a〜24nを、それらの扇形角が一定になるようにするのではなく、予め設定された幅内において最大の扇形角が得られるように形成されてなるものを用いた。

Claim (excerpt)：

レーザ光源からのレーザ光を分散した粒子群に照射したときに生ずる散乱光の強度を各散乱角ごとに検出する複数の散乱光検出素子を有するアレイ検出器を備え、各散乱光検出素子からの散乱光強度信号に基づいて前記粒子群における粒径分布を測定するようにした装置において、前記アレイ検出器として、一つの検出平面に光軸を中心にして一つの半径方向に設けられる複数の散乱光検出素子を、それらの扇形角が一定になるようにするのではなく、予め設定された幅内において最大の扇形角が得られるように形成されてなるものを用いたことを特徴とする粒径分布測定装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特開平2-173551
粒度分布測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-342680 Applicant：株式会社島津製作所
特開平2-193041

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Cited by examiner (3)

特開平2-173551
粒度分布測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-342680 Applicant：株式会社島津製作所
特開平2-193041

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