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J-GLOBAL ID：200903042894050055
感光性組成物及びパタ-ン形成方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大胡 典夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999070591
Publication number (International publication number)：2000122294
Application date： Mar. 16, 1999
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：
【要約】【課題】 短波長光に対する透明性が優れるとともに高いドライエッチング耐性を備え、かつアルカリ現像で解像性の良好で密着性の高いレジストパターンを形成することができる感光性組成物を提供する。【解決手段】 本発明は、5員環、6員環、及び7員環からなる群より選ばれる少なくとも2つ以上の環の組み合わせよりなる有橋脂環式骨格を構造中に含む樹脂と、光酸発生剤とを少なくとも含む感光性組成物であって、前記樹脂における有橋脂環式骨格内を構成する少なくとも1つの炭素が二重結合を介して酸素と結合していることを特徴とする感光性組成物である。
Claim (excerpt)：
5員環、6員環、及び7員環からなる群より選ばれる少なくとも2つ以上の環の組み合わせよりなる有橋脂環式骨格を構造中に含む樹脂と、光酸発生剤とを少なくとも含む感光性組成物であって、前記樹脂における有橋脂環式骨格を構成する少なくとも1つの炭素が二重結合を介して酸素と結合していることを特徴とする感光性組成物。
IPC (3)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/032
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/032
, H01L 21/30 502 R
