情報記録媒体用ガラス基板の製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：恩田博宣 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999256163
Publication number (International publication number)：2001084578
Application date： Sep. 09, 1999
Publication date： Mar. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】ガラス基板表面への付着物の付着及び再付着を抑制し、洗浄後のガラス基板表面の清浄度を向上させることができる情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。【解決手段】情報記録媒体用ガラス基板は、ガラス基板材料の主表面を研磨した後、洗浄することにより形成される。洗浄はパッドを用い水性溶媒にてガラス基板材料の主表面に対して加圧下にスクラブすることにより行われる。このとき、パッドの圧力をp(g/cm2) 、洗浄時間をt(sec) としたとき、p×tが2000〜15000の範囲となる条件が望ましい。また、水性溶媒はpH8〜12の範囲のものでが好ましい。さらに、水性溶媒は比抵抗が4MΩ・m以上のものが好ましい。加えて、水性溶媒は1ml中に存在する0.5μm以上の径の粒子が100個以下のものが好ましい。

Claim (excerpt)：

ガラス基板材料の主表面を研磨した後、洗浄することにより形成される情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、前記洗浄は水性溶媒にてガラス基板材料の主表面に対して加圧下に行われることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。

IPC (4)：

G11B 5/84 , B08B 3/04 , C03C 23/00 , H01L 21/304 644

FI (4)：

G11B 5/84 Z , B08B 3/04 A , C03C 23/00 A , H01L 21/304 644 Z

F-Term (18)：

3B201AA03 , 3B201AB01 , 3B201BA06 , 3B201BA08 , 3B201BA11 , 3B201BB02 , 3B201BB92 , 3B201BB93 , 3B201CC21 , 4G059AA09 , 4G059AB01 , 4G059AB03 , 4G059AC30 , 5D112AA02 , 5D112AA24 , 5D112BA03 , 5D112GA08 , 5D112GA26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

磁気ディスク基板の洗浄方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-350912 Applicant：三菱化学株式会社
磁気記録媒体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-265953 Applicant：住友金属鉱山株式会社
記録媒体の洗浄方法および製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-350833 Applicant：富士通株式会社

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