Pat
J-GLOBAL ID:200903042903209194
光波干渉計及び光波干渉計を用いた測長方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
吉田 研二 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998326314
Publication number (International publication number):2000146517
Application date: Nov. 17, 1998
Publication date: May. 26, 2000
Summary:
【要約】【課題】 光波干渉計を用いて迅速かつ高精度にワークの予備測定及び本測定を行う。【解決手段】 同一干渉計ブース100内に順次レーザ光と白色光を導入する。ワークを設置し、レーザ光源10からのレーザ光を導入して参照鏡42を基準とする干渉縞をCCD64及びパーソナルコンピュータ68で検出する。干渉縞を規定値に設定することでワークの姿勢を調整する。次にハロゲンランプ28からの白色光を導入してコーナキューブ移動台48を移動させ、参照鏡50を基準とする干渉縞を検出してワークの予備測定を行う。さらに、レーザ光を導入し、参照鏡42を基準とする干渉縞を検出してワークの本測定を行う。予備測定と本測定を同一の干渉計ブース100で行うので、ワークの温度ならし等の手間が省け、予備測定を高精度に行える。
Claim (excerpt):
レーザ光による干渉を用いてワークの寸法を測定する光波干渉計であって、レーザ光源と、白色光源と、前記レーザ光源からのレーザ光をワーク及びレーザ光干渉の基準となる第1基準面に入射させる第1光学系と、前記白色光源からの白色光をワーク及び白色光干渉の基準となる第2基準面に入射させる第2光学系と、前記第1基準面に対するワークの傾きを調整するワーク調整手段と、前記第1光学系により生じたレーザ光干渉縞及び前記第2光学系により生じた白色光干渉縞を検出する干渉縞検出手段と、前記第1光学系、第2光学系及びワーク調整手段及び干渉縞検出手段を制御し、レーザ光干渉によるワークの姿勢調整、白色光干渉によるワークの予備測定、レーザ光によるワークの本測定を順次実行する制御手段と、を有することを特徴とする光波干渉計。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (36):
2F064AA04
, 2F064DD02
, 2F064FF02
, 2F064FF03
, 2F064FF05
, 2F064FF07
, 2F064GG02
, 2F064GG12
, 2F064GG16
, 2F064GG22
, 2F064GG32
, 2F064GG38
, 2F064GG59
, 2F064HH03
, 2F064HH05
, 2F064HH08
, 2F065AA22
, 2F065CC10
, 2F065DD03
, 2F065DD06
, 2F065DD11
, 2F065EE01
, 2F065FF51
, 2F065GG02
, 2F065GG04
, 2F065GG22
, 2F065GG24
, 2F065JJ03
, 2F065JJ15
, 2F065JJ26
, 2F065LL12
, 2F065LL17
, 2F065LL30
, 2F065LL33
, 2F065LL36
, 2F065LL46
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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光波干渉測定方法および測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-264913
Applicant:株式会社ミツトヨ
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形状測定方法および装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-301476
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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