Pat
J-GLOBAL ID：200903043025659909
プラズマエッチング用電極板
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福田 保夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997114429
Publication number (International publication number)：1998291813
Application date： Apr. 16, 1997
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：
【要約】【課題】 エッチング消耗が少なく、パーティクルの発生が抑制されたプラズマエッチング用電極板を提供する。【解決手段】 破断面組織の表面粗さ(Rms) が5〜30nmの組織性状を備えるガラス状カーボンからなることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。ガラス状カーボンの微細組織構造が一定範囲の水準にあるアモルファス組織構造を備えることにより、耐プラズマ性に優れ、発生するパーティクル数を低減化することが可能となる。
Claim (excerpt)：
破断面組織の表面粗さ(Rms) が5〜30nmの組織性状を備えるガラス状カーボンからなることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。
IPC (4)：
C01B 31/02 101
, C04B 35/52
, C23F 4/00
, H01L 21/302
C01B 31/02 101 A
, C23F 4/00 A
, C04B 35/52 A
, H01L 21/302
Cited by examiner (3)
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特開平3-119723
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プラズマエッチング用電極板
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-157515
Applicant：東海カーボン株式会社
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特開平3-119723
Article cited by the Patent：
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