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J-GLOBAL ID：200903043032229502

耐プラズマ性に優れたガラス状カーボン材

Inventor： 藤塚 公仁弘 ,  鈴木 義雄
Applicant, Patent owner： 東海カーボン株式会社
Agent (1)： 福田 保夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998118661
Publication number (International publication number)：1999310459
Application date： Apr. 28, 1998
Publication date： Nov. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 プラズマエッチング装置やプラズマCVD装置等の半導体製造装置におけるプラズマに暴露される部材として有用な耐プラズマ性に優れたガラス状カーボン材を提供する。【解決手段】 黒鉛六角網面層の平均格子面間隔d002 の値が0.365nm以下、結晶子Lc(002)の大きさが1.5nm以上の結晶性状を備え、窒素含有量が100 ppm以下であって、組織内に存在する窒素原子のうち水素原子と結合するN-H結合の比率が30%以下であることを特徴とする耐プラズマ性に優れたガラス状カーボン材。

Claim (excerpt)：

黒鉛六角網面層の平均格子面間隔d002 の値が0.365nm以下、結晶子Lc(002)の大きさが1.5nm以上の結晶性状を備え、窒素含有量が100ppm 以下であって、組織内に存在する窒素原子のうち水素原子と結合するN-H結合の比率が30%以下であることを特徴とする耐プラズマ性に優れたガラス状カーボン材。

IPC (3)：

C04B 35/52 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

C04B 35/52 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• プラズマエッチング用電極板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-157515   Applicant：東海カーボン株式会社
• 特開平4-260605