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J-GLOBAL ID：200903043226841098

透明体の欠陥検出方法及び装置

Inventor： 中村 貴廣 ,  高橋 一平
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 小林 和憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995066205
Publication number (International publication number)：1996261953
Application date： Mar. 24, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 表裏面が平滑にされた透明体の微小な欠陥を表裏面に付着した汚れやほこり等の影響を受けずに検出する。【構成】 矢印X方向に連続搬送されるガラス板18の幅方向の両側端面に投光ユニット19,20から検査光33,34を入射する。検査光33,34は、ガラス板18の厚み方向で発散されガラス板18の表裏面で全反射を繰り返しながら進むので、表裏面に付着した汚れやほこりの影響を受けずに内部欠陥と表裏面の欠陥とを検出する。また、厚み方向の欠陥の位置による検出感度のバラツキを軽減できるので、40μm程度の微小な欠陥も検出できる。検査光33,34は、ガラス板18の厚みと直交する方向では中央部に向かって収束されているので全域においてのパワー密度がほぼ一定となり誤検出が減少し、欠陥の識別が容易になる。

Claim (excerpt)：

表裏面を平滑にした板状の透明体を連続走行させ、その幅方向の少なくとも一方の端面から検査光を入射し、この検査光が透明体の表裏面で全反射を繰り返しながら透明体内部を伝播する過程で、透明体に存在する欠陥部によって散乱された散乱光を透明体の表裏いずれかの面を通して光電検出することを特徴とする透明体の欠陥検出方法。

IPC (4)：

G01N 21/89 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00

FI (4)：

G01N 21/89 D ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/64 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-284648
  
• 特開昭63-165738
  
• 結晶欠陥検出方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-220002   Applicant：三菱マテリアル株式会社, ラトックシステムエンジニアリング株式会社