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J-GLOBAL ID：200903043261285351

機能性素子及びその製造方法

Inventor： 須山 章子 ,  伊藤 義康 ,  中橋 昌子
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 猪股 祥晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001282562
Publication number (International publication number)：2003089883
Application date： Sep. 18, 2001
Publication date： Mar. 28, 2003
Summary：

【要約】【課題】機能性セラミックス素子のセラミックス基板材料に導電層をコーティングする場合、膜質、皮膜の密着性、成膜速度、コーティングプロセスの簡便性、環境低負荷等の要求特性を満足するコーティングプロセスが望まれている。【解決手段】セラミックス基板材料に金属粉末を室温大気中、高速噴射することにより金属皮膜または金属化合物皮膜をコーティングする。

Claim (excerpt)：

セラミックス基板材料に金属粉末を高速噴射することにより金属皮膜または金属化合物皮膜をコーティングしたセラミックス基板を有する機能性素子。

IPC (3)：

C23C 24/04 ,  C23C 24/08 ,  H01L 23/12

FI (3)：

C23C 24/04 ,  C23C 24/08 C ,  H01L 23/12 D

F-Term (15)：

4K044AA13 ,  4K044AB05 ,  4K044BA01 ,  4K044BA02 ,  4K044BA06 ,  4K044BA08 ,  4K044BA10 ,  4K044BA12 ,  4K044BA18 ,  4K044BA19 ,  4K044BB01 ,  4K044BC14 ,  4K044CA23 ,  4K044CA25 ,  4K044CA29

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 金属被膜の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-089262   Applicant：株式会社不二機販
• 特開平1-283388
  
• 特開昭60-106975
  
• 金属皮膜形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-318910   Applicant：橋口拓郎