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J-GLOBAL ID：200903043274439072

圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置

Inventor： 角 浩二 ,  風間 宏信
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 栗原 浩之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005097325
Publication number (International publication number)：2006278835
Application date： Mar. 30, 2005
Publication date： Oct. 12, 2006
Summary：

【課題】 小さな駆動電圧で大きな歪みを得ることができる圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】 チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)からなりペロブスカイト型結晶で(100)面に優先配向した圧電体膜70と、前記圧電体膜70を挟む下電極60及び上電極80とを有し、前記圧電体膜70の(100)面に由来するX線の回折ピーク位置が2θ=21.79〜21.88度の範囲内である。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)からなりペロブスカイト型結晶で(100)面に優先配向した圧電体膜と、前記圧電体膜を挟む下電極及び上電極とを有し、前記圧電体膜の(100)面に由来するX線の回折ピーク位置が2θ=21.79〜21.88度の範囲内であることを特徴とする圧電素子。

IPC (5)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18

FI (4)：

H01L41/08 J ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z

F-Term (6)：

2C057AF03 ,  2C057AG12 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 圧電素子及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-048951   Applicant：オムロン株式会社
• 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-199252   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• 圧電体薄膜素子、その製造方法、及び圧電体薄膜素子を用いたインクジェット式記録ヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-245353   Applicant：セイコーエプソン株式会社

Cited by examiner (2)

• 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-199252   Applicant：セイコーエプソン株式会社
• 圧電体薄膜素子、その製造方法、及び圧電体薄膜素子を用いたインクジェット式記録ヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-245353   Applicant：セイコーエプソン株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• Crystallization of Pb(Zr,Ti)O3 films prepared by radio frequency magnetron sputtering with a stoichi
• Ferroelectric characteristics of oriented Pb(Zr1-xTiX)O3 films)

Cited by examiner (2)

• Crystallization of Pb(Zr,Ti)O3 films prepared by radio frequency magnetron sputtering with a stoichi
• Ferroelectric characteristics of oriented Pb(Zr1-xTiX)O3 films)