廃ガス処理用吸着剤及びそれを使用する廃ガス処理方法

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：湯浅恭三 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992141493
Publication number (International publication number)：1993337365
Application date： Jun. 02, 1992
Publication date： Dec. 21, 1993
Summary：

【要約】【目的】減圧ないし真空下での廃ガス処理に有効な吸着剤を提供すると共に、その吸着剤を用いての廃ガス処理システムを構成すること。【構成】 (イ)真空下で遊離ないし脱離しない結晶水を有するアルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、遷移金属化合物;(ロ)遷移金属単体;(ハ)上記(イ)または(ロ)の物質を活性炭またはゼオライトに含浸、担持させたもの;からなる群より選択される少なくとも一種からなる真空(減圧)下で用いるための吸着剤:ならびに廃ガスを発生させる真空処理装置からの廃ガスを排気用真空ポンプで廃ガス処理装置に送って無害化処理する際に、その排気用真空ポンプの前に前記吸着剤を充填してなる第1の廃ガス処理装置を付加して排気用真空ポンプに入る廃ガスを前処理することを特徴とする廃ガス処理方法。

Claim (excerpt)：

(イ)真空下で遊離しない結晶水を持つアルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物または遷移金属化合物、(ロ)遷移金属単体、(ハ)上記(イ)の化合物または(ロ)の金属を活性炭またはゼオライトに含浸させたもの;から選択される少なくとも1種の物質からなる減圧下で用いるための吸着剤。

IPC (5)：

B01J 20/04 , B01D 53/02 , B01J 20/02 , B01J 20/18 , B01J 20/20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

ストリップゲッターの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-114847 Applicant：日本重化学工業株式会社

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