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J-GLOBAL ID：200903043364760236

電子顕微鏡

Inventor： 赤間 善昭
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992099359
Publication number (International publication number)：1993299049
Application date： Apr. 20, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 500オングストローム以下の高分解能を有し、かつ高速観察が可能な走査型低加速電子顕微鏡を提供する。【構成】 電子を放出する電子走査系20と表面に突入した電子を検出して検出信号を出力する電子検出系30とを複数配列してなるセンサ部10と、センサ部に対向して試料を載置する載置台41と載置台をセンサ部に対し相対変位させるステージ駆動手段42とからなるステージ部40と、センサ部への電圧供給を制御する電圧制御回路とステージ部の駆動を制御するステージ駆動制御回路とセンサ部からの検出信号を処理する演算回路とからなる演算制御手段50と、センサ部とステージ部を格納して内部を真空排気可能な真空チャンバー60とを具備する。

Claim (excerpt)：

電子を放出する電子走査系と表面に突入した電子を検出して検出信号を出力する電子検出系とを複数配列してなるセンサ部と、センサ部に対向して試料を載置する載置台と載置台をセンサ部に対し相対変位させるステージ駆動手段とからなるステージ部と、センサ部への電圧供給を制御する電圧制御回路とステージ部の駆動を制御するステージ駆動制御回路とセンサ部からの検出信号を処理する演算回路とからなる演算制御手段と、センサ部とステージ部を格納して内部を真空排気可能な真空チャンバーとを具備することを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/073 ,  H01J 37/244

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-361544
  
• 電子ビーム装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-251233   Applicant：富士通株式会社
• 特開昭53-015740