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J-GLOBAL ID:200903043497568559

スプール型流量制御弁及びその制御装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 後藤 洋介 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001098446
Publication number (International publication number):2002297243
Application date: Mar. 30, 2001
Publication date: Oct. 11, 2002
Summary:
【要約】【課題】 高速化、高精度化の可能なスプール型流量制御弁を提供する。【解決手段】 スリーブ1とスプール2の弁体2-1、2-3との間を非接触で支持する静圧空気軸受を備えると共に、スプールの位置を非接触で検出する位置検出器6を備え、該位置検出器の検出値をアクチュエータ3にフィードバックして位置制御を行うようにしたスプール型流量制御弁。
Claim (excerpt):
複数のポートを持つスリーブ内に複数の弁体を持つスプールを摺動可能に収容し、該スプールをアクチュエータで軸方向に移動させるようにして流量の制御を行うスプール型流量制御弁において、前記スリーブと前記弁体との間を非接触で支持する構造を備えると共に、前記スプールの位置を非接触で検出する位置検出器を備え、該位置検出器の検出値を前記アクチュエータにフィードバックして位置制御を行うようにしたスプール型流量制御弁。
IPC (4):
G05D 7/06 ,  F15B 9/09 ,  F16K 11/07 ,  F16K 37/00
FI (4):
G05D 7/06 Z ,  F15B 9/09 F ,  F16K 11/07 J ,  F16K 37/00 D
F-Term (31):
3H001AA01 ,  3H001AB06 ,  3H001AB10 ,  3H001AC03 ,  3H001AD04 ,  3H001AE12 ,  3H001AE14 ,  3H001AE24 ,  3H065AA04 ,  3H065BB11 ,  3H065CA01 ,  3H067AA17 ,  3H067CC32 ,  3H067CC41 ,  3H067CC60 ,  3H067DD05 ,  3H067DD12 ,  3H067DD32 ,  3H067EA06 ,  3H067ED17 ,  3H067ED20 ,  3H067FF11 ,  3H067GG03 ,  3H067GG15 ,  3H067GG22 ,  5H307BB02 ,  5H307DD01 ,  5H307DD03 ,  5H307EE02 ,  5H307EE06 ,  5H307EE17
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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